離子研磨儀是一種用于材料科學領(lǐng)域的儀器。
由于機械加工導(dǎo)致的樣品表層邊緣遭到破壞且所積累的殘余應(yīng)力無法得到釋放,最終造成無法獲得樣品表層納米梯度強化層真實精準的原位力學性能。離子研磨系統(tǒng)可以無應(yīng)力的去除樣品表面層,加工出光滑的鏡面。兼容平面和截面兩種加工方式,為相關(guān)檢測的樣品制備提供了最為有效的解決方案。
離子研磨法是利用通過電場加速過的離子轟擊樣品表面,在樣品表面產(chǎn)生濺射效應(yīng),由此制備尺度為毫米級別的平滑表面的研磨方法。氬氣屬于惰性氣體,基本不會和樣品發(fā)生化學反應(yīng),因此通常我們采用Ar作為離子源轟擊樣品。
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