離子研磨儀是高質(zhì)量的SEM樣品制備臺(tái)式精密儀器，滿足幾乎所有材料應(yīng)用的樣品制備。離子研磨儀是通過(guò)物理科學(xué)技術(shù)來(lái)增強(qiáng)樣品表面特性，使用惰性氣體中具有代表性的氬氣作為氣源，通過(guò)加速電壓使其電離并撞擊樣品表面，在控制的范圍內(nèi)，通過(guò)這種動(dòng)量轉(zhuǎn)換的方式，氬氣離子去撞擊樣品表面從而得到無(wú)應(yīng)力損傷的理想的SEM觀察樣品。

離子研磨儀的真空艙體保證了設(shè)備操作過(guò)程中持續(xù)真空，預(yù)真空鎖使真空艙體與外部環(huán)境隔離，保證了樣品轉(zhuǎn)移過(guò)程中極佳的真空環(huán)境。小尺寸的樣品在后期維護(hù)中清理也更加簡(jiǎn)便。

多層OLED器件結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，在有機(jī)與無(wú)機(jī)材料層界面間容易產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力，導(dǎo)致在彎曲時(shí)造成層與層間的剝離，這使得生產(chǎn)大尺寸柔性O(shè)LED面板時(shí)的良品率極低，日立的離子研磨儀IM4000的截面加工效果優(yōu)異，獨(dú)特的離子束匯聚離子槍設(shè)計(jì)及樣品擺動(dòng)設(shè)計(jì)，加工效率高，低損傷的特點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)對(duì)OLED截面觀察有效的監(jiān)控產(chǎn)品的合格率。

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