因為顯微硬度測試力小，壓痕小，容易出現誤差。影響顯微硬度值準確性的因素很多，主要因素有以下幾方面：

    (1)試樣制備。顯微試樣制備過程中，會因磨削使表面塑性變形引起加工硬化，這會對顯微硬度值產生很大的影響(有時誤差可達50%),低載荷下更為明顯。因此試樣在制備過程中，要盡量減少表面變形層，特別對軟材料，*好采用電解拋光。

    (2)加載的部位。壓痕在被測晶粒上的部位及被測晶粒的厚度對顯微硬度值均有影響。在選擇測量對象時應選取較大截面的晶粒，因為較小截面的晶粒厚度可能較薄，測量結果可能會受晶界或相鄰第二相的影響。

    (3)載荷。根據試樣的實際情況，選擇適當的荷載，在試樣條件允許的情況下，盡量選擇較大的載荷，以得到盡可能大的壓痕，并且壓痕大小要與晶粒大小成比例，尤其是在軟基體上測硬質點時，被測硬質點的截面直徑必須是壓痕對角線長度的4倍，否則將可能得到不*的測量數據。此外，測定脆性相時，髙載荷可能出現“壓碎”現象，角上有裂紋的壓痕表明載荷已超過材料的斷裂強度，因而獲得的硬度值是不準確的。

    由于彈性變形的回復是材料的一種性能，對于任意大小的壓痕其彈性回復量幾乎一樣，壓痕越小彈性回復量占的比例*越大，顯微硬度值也*越高。在同一試樣中，選用不同的載荷測試得出的結果不完全相同，一般載荷越小，硬度值波動越大。所以同一試驗，*好始終選相同的載荷，以減少載荷變化對硬度值的影響。布科(Buckle)提出的四類加載范圍，可供參考⑷：

    鋁合金：l~5g

    軟鐵線：5~15g

    硬鋼:15~30g

    碳化物：30?120g

    (4)壓頭。壓頭的幾何形狀會對硬度值準確性有影響。壓頭的四個三角形工作面應光滑、平整并有一定的粗糙度。在使用過程中壓頭受到損壞，如頂角磨損、表面出現裂紋、凹陷或壓頭上粘有某些其他物質，都會使壓痕邊緣粗糙和不規(guī)則，增大測量誤差，影響測量結果。

    (5)加載速度和保載時間。硬度定義中的載荷是指靜態(tài)的含義，但實際上一切硬度試樣中載荷都是動態(tài)的，是以一定的速度施加在試樣上的，由于慣性的作用，加載機構會產生一個附加載荷，因此加載速度過快，會增大壓痕，使顯微硬度值降低。為了消除這個附加載荷的影響，在施加載荷時應盡可能以平穩(wěn)、緩慢的速度進行。一般載荷越小，加載速度的影響*越大，當載荷小于100g時，加載速度應為l-ZOjim/s。

    塑性變形是個過程，完成這個過程需要一定的時間，只有載荷保持一定的時間，由壓頭對角線長度所測出的顯微硬度值才能接近材料的真實硬度值。大量試驗表明，加載后保壓時間5-10s后即可卸載進行測量。

    (6)振動。振動是試驗中經常遇到但又很難察覺的問題。振動會減少壓頭與試樣之間的摩擦，有利于壓入，使壓痕尺寸增大，從而降低硬度值。

    (7)測量顯微鏡的精度以及個人操作因素。測微目鏡的測量精度不夠，會造成壓痕對角線的測量誤差，影響其硬度值。個人操作不當、缺乏經驗等因素也會影響測量精度。因此，顯微硬度測試是一項細致、費時的操作。

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